Персоналии
кандидат физико-математических наук, научный сотрудник лаборатории радиационно-стимулированных процессов Института проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук (Россия, 142432, г. Черноголовка ул. Академика Осипьяна, 6)
доктор физико-математических наук, главный научный сотрудник лаборатории радиационно-стимулированных процессов Института проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук (Россия, 142432, г. Черноголовка ул. Академика Осипьяна, 6)
Королев Михаил Александрович
Национальный исследовательский университет «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)
инженер-технолог АО «Плутон» (Россия, 105120, г. Москва, ул. Нижняя Сыромятническая, 11)
кандидат физико-математических наук, старший научный сотрудник Научно-исследовательского института перспективных материалов и технологий (Россия, 105187, г. Москва, ул. Щербаковская, 53)